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德國osiris熱板:HOTPLATES

簡要描述:德國osiris熱板:HOTPLATES,專為研發和小批量生產而設計,可適用最大 200/300 或 450mm的基材,具有真空通道用于基板固定。

  • 產品型號:UNIXX-SERIES
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-03-07
  • 訪  問  量:99

詳細介紹

德國osiris熱板:HOTPLATES

設計用于以下應用

SOFTBAKE(預烘烤)、HARDBAKE、

HMD(六甲基二硅氮烷)可選:蒸汽灌注、真空干燥


特點:

1.單面烘烤模塊

2.不同的基材系統:最大 200/300 或 450mm

3.電子或氣動頂銷

4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷

5.控制器單元:半自動或手動

6.真空通道用于基板固定

7.集成式排煙

8.可選的:

  - 氮氣吹掃(N2) - 提升銷用于邊緣處理

9.專為研發和小批量生產而設計


1.UNIXX HvT20

(直徑200mm)用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺式加熱板工具。

(可臺式或獨立式)


2. UNIXX HeT20

(直徑200mm)帶電子驅動提升銷的臺式加熱板工具。

(或安裝在臺上


3.UNIXX HpT20

(直徑200mm)帶有氣動驅動提升銷的臺式加熱板工具。

(或臺式)




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