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德國osiris勻膠機:SPIN COATING

簡要描述:德國osiris勻膠機:SPIN COATING,應用于勻膠工藝的設備,具有CCP(夾具密封工藝)的勻膠技術和可選的烘烤熱板,適用于實驗室開展科學研究、技術開發和企業小批量多品種生產。設備具有多選項(例如可編程滴膠臂)并且可以升級成自動化的系統達到更高的片到片工藝重復性。

  • 產品型號:UNIXX-SERIES
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-03-07
  • 訪  問  量:143

詳細介紹

Osiris勻膠機

用于處理單晶圓的系統,具有用于半導體和微系統技術的定制基板加工選項。


旋涂機 - CCP

設計用于以下應用:

帶蓋卡盤處理器 (CCP) 的旋轉涂層


1.UNIXX S760+

(21x21 英寸)獨立系統

用于大型基材的旋涂機。


2.UNIXX SA30+

(?300毫米)獨立系統

帶蓋卡盤旋涂機。(單底座)


3. UNIXX SHp22+

(直徑200mm)獨立系統

有蓋卡盤旋涂機和加熱板模塊。


旋涂機 - 開式轉鼓

設計用于以下應用:

帶開口碗的旋轉涂層,用于標準涂層。


1.UNIXX SA30

(?300毫米)獨立系統

開式轉鼓旋涂布機。(單底座)


2. UNIXX SHe22

(直徑200mm)獨立系統

開碗旋涂機和加熱板模塊。






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