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德國Diener等離子清洗機

簡要描述:型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Pico 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。Pico 系統主要應用于以下領域:
分析 (REM, TEM),考古,汽車,研究和開發部門,半導體技術,小批量生產,塑料技術,醫療技術,微系統技術,傳感技術,滅菌,紡織技術

  • 產品型號:PICO
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2023-12-11
  • 訪  問  量:492

詳細介紹

型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Pico 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。型號PICO的德國Diener等離子清洗機主要應用于以下領域:

分析 (REM, TEM),考古,汽車,研究和開發部門,半導體技術,小批量生產,塑料技術,醫療技術,微系統技術,傳感技術,滅菌,紡織技術

1.基本裝備:

   根據組件/選裝件,外殼規格會有所不同

   腔室容積:根據具體版本 4 - 15

供電電源:臺式設備為 230 V,立式設備為 400 V/3 相位

2.氣體供給:針型閥,質量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室:

   圓形不銹鋼,帶蓋(約 ∅ 150 mm,長 320 mm 或長 600 mm)或

   矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 160 mm x 160 mm x 325 mm 600 mm

   矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 160 mm x 160 mm,長 325 mm 或長 600 mm

   圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300mm600 mm

圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300 mm600 mm

4.裝載件

產品支架(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.電極:單層或多層,RIE

6.控制系統

   半自動型

   Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)

7.壓力測量:Pirani,電容式壓力計(適用于腐蝕性氣體版本)

8.計時器:數字

9.發生器

頻率:    

40 kHz:功率 0 - 200 W;0 -1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz:功率  0 - 100 W;0 - 300 W

2.45 GHz:功率 0 - 300 W

所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型

10.真空泵

不同規格,來自不同制造商(根據需要配備活性炭過濾器)

11.其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝,包括培訓??蓱筇峁┑钠渌x項




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