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德國Diener等離子清洗機

簡要描述:型號為Femto的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Femto 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。Femto 等離子系統主要應用于以下領域:
分析、考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、醫療技術、微系統技術、傳感技術、滅菌、紡織技術

  • 產品型號:FEMTO
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2023-12-11
  • 訪  問  量:415

詳細介紹

型號為Femto的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Femto 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。型號為Femto的德國Diener等離子清洗機主要應用于以下領域:

分析、考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、醫療技術、微系統技術、傳感技術、滅菌、紡織技術

1.基本裝備

根據具體組件/選裝件,外殼會有所不同

腔室容積:根據具體版本,分為 1.9 - 6

供電電源:臺式設備為 230 V,立式設備為 400 V/3 相位

2.真空腔室

圓形不銹鋼,帶蓋(約 ∅ 100 mm,長 278 mm 或長 600 mm

矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 103 x 285 x 103

矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 103 mm x 103 mm,長 280 mm 或長 600 mm

圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 95 mm,長 280 mm 或長 600 mm

圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約 ∅ 95 mm,長 280 mm 或長 600 mm

3.裝載件:

產品支架(選項:水冷型),石英玻璃舟皿,粉末轉鼓 ,散裝件轉鼓 ,鋁板,不銹鋼板,硼硅玻璃,石英玻璃

4.電機:單層或多層,RIE

5.控制系統

半自動型

Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)

6.壓力測量:Pirani,電容式壓力計(適用于腐蝕性氣體版本)

7.計時器:數字

8.發生器

頻率:    

40 kHz:功率 0 - 100 W;0 - 1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 200 W

2.45 GHz:功率 0 - 100 W;0 - 300 W

所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型

9.真空泵:不同規格,來自不同制造商(根據需要配備活性炭過濾器)

10.其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝,包括培訓??蓱筇峁┑钠渌x項。




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